CemeCon Anlagentechnologie Anlagentypen HiPIMS-Sputter-Beschichtungsanlage

HiPIMS-Sputter-Beschichtungsanlage

Leistungsdaten CC800®/9 HiPIMS
Beschichtungsraum, Ø x h [mm] Ø400 x 400
Substrattisch, Ø x Ø Satelliten x Anzahl Satelliten [mm], Stück Ø400 x Ø130 x 6
Schnellwechseltisch optional
Sputterkathoden Stück, [mm] 6 x 500
Maximale Substratabmessungen, Ø x h [mm] Ø400 x 800
Kapazität Bohrer, Ø6 mm x 60 mm Stück 1.800
Kapazität WSP, 12,7 mm x 3,5 mm Stück 4.920
Beladung [kg] 250
Zykluszeit für 3 μm HPN1 auf einem 10mm Fräser [h] 4,5
Prozessverfahren HiPIMS und Sputtern mit Booster-Technologie.
Alle etablierten CemeCon Schichten sind möglich.
Substratvorbehandlung (Plasmaätzen) Booster-, MF- und HiPIMS-Ätzen
elektrisch leitende Schichten ja
elektrisch nicht leitende Schichten ja
elektrisch nicht leitende Substrate ja
Anschlussleistung [kW] 80
Stromverbrauch pro Charge für 3 μm HPN1
auf einem 10 mm Fräser
[kWh] 120
Aussenabmessungen (b x l x h) [mm3] 1.450 x 3.350 x 2.200
Gewicht leer [kg] ~ 3.200

CC800®/9 HiPIMS

Die CC800®/9 HiPIMS beschichtet Werkzeuge mit extrem harten, besonders zähen und oxidationsbeständigen Werkstoffen für das Bearbeiten z. B. von Edelstahl, Titan oder nickel-Basis-Legierungen. Für diese schwerzerspanbaren Materialien ist sie mit der aktuellsten, von CemeCon patentierten, HiPiMS-Technologie ausgestattet.

Dabei sorgt die hohe Metallionisation nahe 100 Prozent für beste Haftung der Beschichtung. Schichthaftungsprüfungen wie der Scratchtest belegen Lasten von über 130 newton. Zusätzlich ermöglicht sie eine geschlossene, homogenere Schichtverteilung auf komplexen 3D-Geometrien sowie – dank hoher Abscheideraten bis zu 2,5 μm in der Stunde – sehr kurze Prozesszeiten. Sechs einzeln steuerbare Sputterkathoden sorgen für höchste Flexibilität.

Die CC800®/9 HiPiMS ist bestens geeignet für die Beschichtung von Werkzeugen im industriellen Maßstab. Alle vorhandenen Sputterbeschichtungen können abgeschieden werden. Natürlich sind alle Schichten der CC800®/9 HiPiMS absolut glatt und dropletfrei.


Vorteile auf einen Blick

  • Höchste Abscheideraten
  • Beste Haftung
  • Herausragende Schichtdickenverteilung
  • Skalierbarkeit bis hin zur vollen Produktionscharge
  • Exzellente Performance
  • Mittlere HiPIMS-Kathodenleistungen bis zu 4x10 kW



Beschichtungsvolumen





 

Homogene Schichtdickenverteilung an der Schneidkante