Kalottenschliffgerät |
Das Prinzip des Kalottenschliffs zur Ermittlung von Schichtdicken und Schichtraten benutzt eine breite Projektion der Schichtdicke, die auch mit Mikroskopen geringer Vergrößerung (Vmin=50) vermessen werden kann. Zum Schleifen der Schicht wird eine gehärtete Stahlkugel auf der beschichteten Substratoberfläche gedreht. Da viele Schichten härter sind als die verwendete Stahlkugel wird zwischen Schicht und der Stahlkugel zusätzlich Diamantsuspension über eine Pipette eingebracht.
Arbeitsweise
Ein Elektromotor treibt eine Arbeitsspindel an, die die Stahlkugel in Rotation versetzt. Über eine flexibel justierbare Werkzeughalterung wird das Einspannen der Substrate in beliebigem Winkel zur Stahlkugel ermöglicht. Die Schleifzeit lässt sich in diskreten Schritten einstellen. Abhängig von der Probengeometrie entstehen unterschiedliche Schliffbilder, während ebene Proben zu konzentrischen Kreisen führen, ergeben sich bei Schliffen auf gewölbten Objekten entsprechend elliptisch geformte Schleifbilder.
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Beschichtungskompetenz
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