CC 800®/9 ML |
Die Universelle
Die CC800®/9 ist das Arbeitstier für alle Fälle: Ausgestattet mit der Plasmaboostertechnologie ist die Beschichtungsanlage bestens geeignet für Hersteller, Anwender und Lohnbeschichter, die umfangreichere Losgrößen flexibel und wirtschaftlich beschichten müssen. Alle Schichtwerkstoffe stehen Ihnen dabei zur Verfügung und eröffnen nahezu unendliche Möglichkeiten bei der Auswahl spezifischer Beschichtungslösungen für Ihre Anwendungen.
Durch den modularen Aufbau der CemeCon-Anlagentechnologie bleibt auch die CC800®/9 ML stets auf dem neusten Stand der Entwicklung. Erweiterbar auf die Pulstechnologie zur Abscheidung nichtleitender Werkstoffe, vervielfältigt sie Ihre Möglichkeiten zusätzlich.
Und sollte Ihre Produktion nach höherer Kapazität verlangen: Mit dem optionalen Flex-Modul können Sie die Kapazität der Anlage deutlich erweitern und haben die Auslastung ihrer Anlagen immer punktgenau im Griff. Falls das noch immer nicht ausreichen sollte, lässt sich die ML auch auf das Format der CC800®/9 XL erweitern.
Profitieren Sie von unserer langjährigen Erfahrung als Anlagenbauer.
Unsere Kundenbetreuer beraten Sie gerne!
| Leistungsdaten CC800®/9 ML | ||
| Beschichtungskammer, (l x b x h) | [mm] | 850 x 850 x 1000 |
| Zugänglichkeit | 1 Fronttür, 2 Seitentüren | |
| Beschichtungsraum, (Ø x h) | [mm] | 400 x 400 |
| Maximale Substratabmessungen, (Ø x h) | [mm] | 450 x 850 |
| Anzahl der Satelliten (optional Flex) | [Stück] | 6 (10) |
| Beladung | [kg] | 250 |
| Substrattisch auswechselbar | ja | |
| Schnellwechselvorrichtung inkl. Parkstation | mechanisch | |
| Sputterkathoden, Anzahl x Länge | [mm] | 4 x 500 |
| Prozessverfahren | h.i.s.® | |
| Kapazität Bohrer, (Ø6 x 80) mm | [Stück] | 1800 |
| Kapazität WSP, (12,7 x 3,5) mm | [Stück] | 4900 |
| Zykluszeit für 3 µm TINAlOx | [h] | 5 |
| Aussenabmessungen (l x b x h) | [mm] | 1010 x 3000 x 2100 |
Beschichtungskompetenz
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